Câmara Ion Implanation Components do arco do molibdênio do tungstênio da pureza alta

Câmara Ion Implanation Components do arco do tungstênio e do molibdênio da pureza alta

Nossos produtos:

Câmaras (tungstênio, molibdênio e ligas)

Filamentos (tungstênio e ligas do tungstênio)

Réguas do arco (tungstênio, molibdênio e ligas)

Suportes (tungstênio, molibdênio e ligas)

Cátodos (tungstênio, molibdênio e ligas)

Peças sobresselentes (tungstênio, molibdênio e ligas)

Nós fornecemos o molibdênio e os componentes de alta qualidade, precisão feitos à máquina do tungstênio para o equipamento de processamento da parte frontal usado na fabricação de semicondutores, incluindo ferramentas de Ion Implantation, do MOCVD, do CVD, do PVD, e do MBE. A experiência de fabricação, a experiência, e o conhecimento de Elmet dos materiais do molibdênio e do tungstênio para permitir-nos de fornecer a precisão fizeram à máquina os componentes e os conjuntos que encontram suas especificações exigentes.

Aplicação:

A implantação de íon do semicondutor é uma nova tecnologia da alteração de superfície material. Foi amplamente utilizada na lubrificação de materiais do semicondutor, na alteração de superfície dos metais, na cerâmica, nos polímeros etc. É uma técnica necessária no circuito integrado de fabricação contemporâneo da grande escala.

A implantação de íon é a injeção do feixe de íon com uma ordem da energia de 100keV em um material onde o feixe de íon tenha uma série de interações físicas e químicas com átomos ou moléculas no material. Os íons do incidente perdem gradualmente sua energia, e param-na finalmente no material e para causar uma mudança na composição, na estrutura e nas propriedades da superfície do material, aperfeiçoando assim as propriedades de superfície do material, ou dando algum desempenho excelente novo ao material.

Propriedade material:

Os componentes do tungstênio e do molibdênio de Sanhui usados na implantação de íon têm a pureza alta, boas propriedades mecânicas a assegurar-se de que sejam apropriados para o processamento de componentes da câmara do arco com formas complexas.

A câmara do arco do tungstênio e do molibdênio da pureza alta é a garantia básica para o rendimento da microplaqueta do semicondutor. As peças principais do tungstênio e do molibdênio da fonte de íon do elevado desempenho de Sanhui reduzem extremamente a frequência da manutenção da máquina e para assegurar a capacidade de produção de cliente, seja a melhor escolha para clientes.

Com um conjunto completo de equipamento fazendo à máquina importado da precisão, com materiais de produção própria tais como o tungstênio, o molibdênio, o tântalo e o nióbio como a base do controle da qualidade, e de combinar tecnologia estrangeira avançada, Sanhui pode projetar, produzir e processar os produtos do elevada precisão e os de alta qualidade de acordo com exigências de cliente.

Casos do sucesso:

Sanhui é equipado com o equipamento completo para processar materiais refratários, e pode fornecer clientes as placas, as folhas, as barras, as hastes e os componentes complexos feitos dos materiais refratários do metal tais como o tungstênio, o molibdênio, o tântalo, o nióbio e as suas ligas. Sanhui pode fornecer os produtos do tungstênio e do molibdênio usados no grande-feixe, no meio-feixe e em fontes de íon alta-tensão; capaz de fornecer componentes alta-tensão da fonte de íon do tungstênio, peças da implantação de íon do grande-feixe do tungstênio ou do molibdênio, e componentes da fonte de íon do meio-feixe do molibdênio. Os produtos foram fornecidos aos fabricantes principais em Taiwan, o Estados Unidos e outros países e regiões.